下载确定由图案化工艺形成的目标的所关注参数的值的方法的技术资料

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公开了确定所关注参数的值的方法。在一种布置中,导出来自照射目标的检测到的光瞳表示的对称分量和非对称分量。表征对称分量的第一度量和表征非对称分量的第二度量在所关注参数的值的参考范围上根据所关注参数非单调地变化。使用所导出的对称分量和所导出的非...
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