专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
ASML荷兰有限公司
>
确定由图案化工艺形成的目标的所关注参数的值的方法技术
>技术资料下载
下载确定由图案化工艺形成的目标的所关注参数的值的方法的技术资料
文档序号:26483569
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
公开了确定所关注参数的值的方法。在一种布置中,导出来自照射目标的检测到的光瞳表示的对称分量和非对称分量。表征对称分量的第一度量和表征非对称分量的第二度量在所关注参数的值的参考范围上根据所关注参数非单调地变化。使用所导出的对称分量和所导出的非...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。