下载一种整流器及其制造方法的技术资料

文档序号:26481119

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本发明公开了一种整流器及其制造方法,包括第一导电类型的衬底,所述衬底的表面为第一主面;所述衬底具有沟槽,所述沟槽中填充有第一多晶硅,所述第一多晶硅与所述沟槽的侧壁隔离有第一氧化层;邻接所述沟槽侧壁的第一主面上设置有第二导电类型的第一掺杂区,...
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