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背照式图像传感器及其制作方法技术
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文档序号:26481065
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本发明提供一种背照式图像传感器及其制作方法。所述制作方法包括:提供半导体基底,在半导体基底上形成第一沟槽和第二沟槽,所述第一沟槽的开口宽度大于所述第二沟槽;然后形成阻挡层且所述阻挡层覆盖半导体基底的表面;接着形成填充材料层,所述填充材料层填...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。
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