下载半导体存储器元件及其制备方法的技术资料

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一种半导体存储器元件及其制备方法。半导体存储器元件具有基底、栅极结构、第一介电质、第二介电质、插塞、储存节点着陆垫、位元线、第三介电质及储存节点。基底具有漏极以及源极。栅极结构配置在基底上,在漏极与源极之间。第一介电质配置在基底上,覆盖栅极...
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