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具有轮廓互连的集成电路结构制造技术
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下载具有轮廓互连的集成电路结构的技术资料
文档序号:26481012
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本文公开了具有轮廓互连的集成电路(IC)结构,以及相关的方法和设备。例如,在一些实施例中,IC管芯的器件区包括具有圆化的顶表面的互连(例如,源极/漏极接触部)。...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。
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