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提供保持装置，其能够防止被加工物的破损。对被加工物进行保持的保持装置具有：保持单元，其利用保持面对被加工物进行保持，利用该保持面的环状的吸引区域对被加工物的外周区域进行吸引，该环状的吸引区域形成于保持面的被被加工物覆盖的区域；压力测量单元，...
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