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提供了系统和方法，用于监视晶圆接合以及用于检测或确定在两个半导体晶圆之间形成的晶圆接合中的缺陷。晶圆接合系统包括配置为监视两个半导体晶圆之间的接合的摄像机。晶圆接合缺陷检测电路从摄像机接收视频数据并基于接收的视频数据检测接合缺陷。本发明的实...该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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提供了系统和方法，用于监视晶圆接合以及用于检测或确定在两个半导体晶圆之间形成的晶圆接合中的缺陷。晶圆接合系统包括配置为监视两个半导体晶圆之间的接合的摄像机。晶圆接合缺陷检测电路从摄像机接收视频数据并基于接收的视频数据检测接合缺陷。本发明的实...