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离子检测器制造技术
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文档序号:26480927
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本实施方式所涉及的离子检测器具备用于降低对输出信号的信号反射等的影响的构造。该离子检测器具备电子倍增部、信号输出部、信号输出端子和AC耦合器。AC耦合器配置于信号输出部与信号输出端子之间的信号线上,并且具有树脂薄片和以经由该树脂薄片而互相相...
该专利属于浜松光子学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。
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