离子检测器制造技术

本实施方式所涉及的离子检测器具备用于降低对输出信号的信号反射等的影响的构造。该离子检测器具备电子倍增部、信号输出部、信号输出端子和AC耦合器。AC耦合器配置于信号输出部与信号输出端子之间的信号线上，并且具有树脂薄片和以经由该树脂薄片而互相相对的方式配置的一对导电部。一个导电部电连接于信号输出部的输出端，另一个导电部电连接于信号输出端子。

【技术实现步骤摘要】
离子检测器
本专利技术涉及一种离子检测器。
技术介绍
作为能够应用于质量分析装置(massspectrometry)等的离子检测器的结构，例如，已知有一种具备响应于离子的入射而放出电子的输入侧元件和捕获所放出的电子并作为电信号输出的输出侧元件(信号输出部)的结构。作为输入侧元件，已知有微通道板(在下文中记为“MCP”)等的电子倍增元件。另一方面，作为输出侧元件，除了作为电子捕获电极的阳极以外，还已知有雪崩二极管(在下文中记为“AD”)等的电子冲击型二极管。特别地，在这样的离子检测器中，例如如日本特开2009-230999号公报(专利文献1)所公开的那样，在上述输出侧元件和该离子检测器的信号输出端(与外部的电子电路电连接的端子)之间，设置有用于提取交流分量(以下记为“AC分量”)作为信号的AC耦合器(由电容器等构成的交流耦合电路)。
技术实现思路
专利技术人们对上述的现有技术进行了研究，发现了以下的技术问题。即，在上述的质量分析中，双极性的离子(带电粒子)能够成为检测对象。例如，当在输出侧元件和该离子检测器之间利用进行AC耦合本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种离子检测器，其特征在于，/n具备：/n电子倍增部，其响应于带电粒子的入射而放出电子；/n信号输出部，其配置于从所述电子倍增部放出的所述电子到达的位置，接受所述电子并输出电信号；/n信号输出端子，其经由信号线而与所述信号输出部的输出端连接；以及/nAC耦合器，其配置于所述信号线上，/n所述AC耦合器具有：/n树脂薄片，其具有面向配置有所述信号输出部的一侧的第一主面、以及与所述第一主面相对并且面向配置有所述有信号输出端子的一侧的第二主面；/n第一导电部，其配置于所述树脂薄片的所述第一主面上并且电连接于所述信号输出部的所述输出端；以及/n第二导电部，其在沿从所述第一主面朝向所述第二主面的方向...

【技术特征摘要】
20190521 JP 2019-0953181.一种离子检测器，其特征在于，
具备：
电子倍增部，其响应于带电粒子的入射而放出电子；
信号输出部，其配置于从所述电子倍增部放出的所述电子到达的位置，接受所述电子并输出电信号；
信号输出端子，其经由信号线而与所述信号输出部的输出端连接；以及
AC耦合器，其配置于所述信号线上，
所述AC耦合器具有：
树脂薄片，其具有面向配置有所述信号输出部的一侧的第一主面、以及与所述第一主面相对并且面向配置有所述有信号输出端子的一侧的第二主面；
第一导电部，其配置于所述树脂薄片的所述第一主面上并且电连接于所述信号输出部的所述输出端；以及
第二导电部，其在沿从所述第一主面朝向所述第二主面的方向观察所述树脂薄片时以至少一部分与所述第一导电部重叠的方式配置于所述树脂薄片的所述第二主面上，电连接于所述信号输出端子。


2.根据权利要求1所述的离子检测器，其特征在于，
所述AC耦合器还具有：
第一保护膜，其以覆盖所述第一导电部的至少一部分的状态设置于所述树脂薄片的所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：小林浩之，高塚清香，鹫山雄哉，柳原悠人，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP