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本申请提供了一种机台设备的测试方法及装置，包括：加载第一配置文件，所述第一配置文件存储有机台设备的触发事件CEID与机台设备的生产工艺数据SVID的第一关联关系；加载第二配置文件，所述第二配置文件用于对所述机台设备的生产工艺数据进行加载；判...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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