一种机台设备的测试方法及装置制造方法及图纸

本申请提供了一种机台设备的测试方法及装置，包括：加载第一配置文件，所述第一配置文件存储有机台设备的触发事件CEID与机台设备的生产工艺数据SVID的第一关联关系；加载第二配置文件，所述第二配置文件用于对所述机台设备的生产工艺数据进行加载；判断与所述机台设备是否连接，若判断结果为是，则使用所述第一配置文件对所述机台设备进行初始化；待所述机台设备初始化完成后，按照预设的生产时序，使用所述第一配置文件和所述第二配置文件对预设的所述机台设备的生产流程进行测试，以解决目前厂商无法模拟设备自动化控制系统进行自动化生产测试的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种机台设备的测试方法及装置
本申请涉及测试
，特别是涉及一种机台设备的测试方法及装置。
技术介绍
目前半导体芯片厂商实现自动化生产是通过制造执行系统MES系统、自动化物料搬运系统AMHS系统以及设备自动化控制系统EAP共同实现的。目前半导体芯片厂商普遍使用FASTsim测试软件来模拟EAP系统实现对机台设备自动化生产的测试，具体的，FASTsim测试软件在进行自动化测试过程中，需要人工按照生产时序一条一条的下发控制指令实现对EAP系统的自动化生产的测试，而目前半导体芯片厂商也尝试自己构建模拟EAP系统实现自动化生产流程，但是均没有实现，主要原因在于构建模拟EAP系统的自动化生产流程是固化好的程序，只能对统一格式的指令进行识别，因而针对于同一条指令在不同的时间下发的不同格式无法识别，因而导致半导体芯片厂商无法模拟设备自动化控制系统进行自动化生产的测试，因此只能依赖FASTsim测试软件结合人工的方式，实现设备自动化控制系统进行自动化生产的测试。
技术实现思路
本申请提供了一种机台设备的测试方法及装置，以解决目前本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种机台设备的测试方法，其特征在于，包括：/n加载第一配置文件，所述第一配置文件存储有机台设备的触发事件CEID与机台设备的生产工艺数据SVID的第一关联关系；/n加载第二配置文件，所述第二配置文件用于对所述机台设备的生产工艺数据进行加载；/n判断与所述机台设备是否连接，若判断结果为是，则使用所述第一配置文件对所述机台设备进行初始化；/n待所述机台设备初始化完成后，按照预设的生产时序，使用所述第一配置文件和所述第二配置文件对预设的所述机台设备的生产流程进行测试。/n

【技术特征摘要】
1.一种机台设备的测试方法，其特征在于，包括：
加载第一配置文件，所述第一配置文件存储有机台设备的触发事件CEID与机台设备的生产工艺数据SVID的第一关联关系；
加载第二配置文件，所述第二配置文件用于对所述机台设备的生产工艺数据进行加载；
判断与所述机台设备是否连接，若判断结果为是，则使用所述第一配置文件对所述机台设备进行初始化；
待所述机台设备初始化完成后，按照预设的生产时序，使用所述第一配置文件和所述第二配置文件对预设的所述机台设备的生产流程进行测试。


2.根据权利要求1所述的测试方法，其特征在于，所述加载第一配置文件的步骤包括：
获取所述机台设备预先存储的机台设备的触发事件CEID与所述机台设备的生产工艺数据SVID的第二关联关系；
解除获取到的所述第二关联关系；
创建所述生产工艺数据标识与所述机台设备的触发事件CEID的关系；
创建所述生产工艺数据标识与所述机台设备的生产工艺数据SVID的关系；
重新建立机台设备的触发事件CEID与机台设备的生产工艺数据SVID的第一关联关系。


3.根据权利要求1所述的测试方法，其特征在于，所述按照生产时序，使用所述第一配置文件和所述第二配置文件对所述机台设备的生产流程进行测试的步骤包括：
调用所述第一配置文件中的所述机台设备的不同触发事件与不同所述生产工艺数据的第一关联关系，使所述机台设备根据不同触发事件对应的不同生产工艺数据进行测试；
调用所述第二配置文件中的获取工艺配方指令，根据所述工艺配方指令获取所述机台设备的待检测的生产配方信息；
当检测到所述机台设备的触发事件为检测生产配方事件时，获取待检测的生成配方信息，并判断待检测的生产配方信息是否修改；
若所述待检测的生产配方信息未修改，调用所述第二配置文件获取下发料盒开门指令；
当检测到所述机台设备的触发事件为收到第一物料位置信息事件时，获取第一物料位置信息事件对应的第一物料位置信息，通过所述第二配置文件，对所述第一物料位置信息进行加载，形成第二物料位置信息。


4.根据权利要求3所述的测试方法，其特征在于，所述当检测到所述机台设备的触发事件为收到第一物料位置信息事件时，获取第一物料位置信息事件对应的第一物料位置信息，通过所述第二配置文件，对所述第一物料位置信息进行加载，形成第二物料位置信息的步骤包括：
按照生产时序，加载所述第二配置文件中所述第一物料位置信息对应的预先生成的不同信息指令；
判断所述不同信息指令是否是最小的项目，若是，对所述不同信息指令对应的不同生产工艺数据对应进行修改，生成第二物料位置信息，将所述第二物料位置信息下发至所述机台设备。


5.根据权利要求3所述的测试方法，其特征在于，若判断待检测生产配方信息修改，则调用所述第二配置文件获取料盒解锁指令；
获取所述第二配置文件中预先生成的编辑解锁料盒指令；
判断预先生成的编辑的解锁料盒对应的工艺数据对象指令是否是最小的项目，若是，将所述工艺数据动作对象的对象值修改为解锁，生成解锁指令；
将所述解锁指令下发至所述机台设备，使机台设备将所述料盒从机台设备移除。


6.一种机台设备的测试装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘丹，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11