下载一种掠入式光学元件面形校正装置及方法的技术资料

文档序号:26477748

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本发明公开了一种掠入式光学元件面形校正装置及方法,掠入式光学元件面形校正装置包括至少两组力矩施加组件,力矩施加组件包括固定结构以及驱动结构;固定结构用于接触或夹紧掠入式主镜边缘,将驱动结构所传递的力施加于掠入式主镜并在掠入式主镜产生力矩,使...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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