一种掠入式光学元件面形校正装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种掠入式光学元件面形校正装置及方法，掠入式光学元件面形校正装置包括至少两组力矩施加组件，力矩施加组件包括固定结构以及驱动结构；固定结构用于接触或夹紧掠入式主镜边缘，将驱动结构所传递的力施加于掠入式主镜并在掠入式主镜产生力矩，使掠入式主镜的面形发生改变；所有力矩施加组件向掠入式主镜所施加力的合力为零。本发明专利技术所提供的掠入式光学元件面形校正装置结构简单，并且在使用的过程中所有力矩施加组件向掠入式主镜所施加力的合力为零，不会影响掠入式主镜原来的固定位置，保证了变量的单一性，方便调整和控制；另外，在对掠入式主镜进行面形矫正的过程中，不需要将掠入式主镜进行拆卸，方便易操作。

【技术实现步骤摘要】
一种掠入式光学元件面形校正装置及方法
本专利技术涉及光学元件校正
，更具体地说，涉及一种掠入式光学元件面形校正装置。此外，本专利技术还涉及一种应用于上述掠入式光学元件面形校正装置的方法。
技术介绍
在成本可以接受的范围内，对波前质量更好的控制，可以更好的完成初设的科学目标。在考虑了加工工艺、环境适应性以及装调工艺影响等因素的情况下，系统本身的精度保持能力越来越难以满足未来精密光学设备对成像质量的要求。以光刻机为例，为了达到衍射极限，系统自身的光学误差需要接近于可忽略不计，这项要求，仅仅依靠系统加工与装调几乎不可达到，因此，需要使用光程补偿元件，使系统达到衍射极限。力矩施加结构来源于光学镜面加工领域中的应力抛光技术，是一种通过主动施加力矩，改变结构零矩点，进而周期性校正低阶面形误差的主动光学手段，主要用来校正主镜加工残余误差、温度载荷和重力载荷所引起的面形误差等。掠入式光学系统多运用于软X射线望远镜之中，其工作在0.6～6nm的软X射线波段。由于在这个波段范围几乎所有介质的折射率都接近于1，同时具有极强的穿透能力，所以X射线本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种掠入式光学元件面形校正装置，其特征在于，包括至少两组力矩施加组件(1)，所述力矩施加组件(1)包括固定结构以及用于提供驱动力的驱动结构；所述固定结构用于接触或夹紧掠入式主镜(5)边缘，将所述驱动结构所传递的力施加于所述掠入式主镜(5)并在所述掠入式主镜(5)产生力矩，使所述掠入式主镜(5)的面形发生改变；/n所有所述力矩施加组件(1)向所述掠入式主镜(5)所施加力的合力为零。/n

【技术特征摘要】
1.一种掠入式光学元件面形校正装置，其特征在于，包括至少两组力矩施加组件(1)，所述力矩施加组件(1)包括固定结构以及用于提供驱动力的驱动结构；所述固定结构用于接触或夹紧掠入式主镜(5)边缘，将所述驱动结构所传递的力施加于所述掠入式主镜(5)并在所述掠入式主镜(5)产生力矩，使所述掠入式主镜(5)的面形发生改变；
所有所述力矩施加组件(1)向所述掠入式主镜(5)所施加力的合力为零。


2.根据权利要求1所述的掠入式光学元件面形校正装置，其特征在于，所述固定结构包括铰接设置的第一连杆(2)和第二连杆(3)，所述第一连杆(2)和所述第二连杆(3)的端部均设置有用于与所述掠入式主镜(5)接触的软垫结构，所述掠入式主镜(5)夹设于两个所述软垫结构之间；
所述第一连杆(2)和所述第二连杆(3)中的至少一者与所述驱动结构连接，所述驱动结构可驱动所述第一连杆(2)相对于所述第二连杆(3)转动。


3.根据权利要求2所述的掠入式光学元件面形校正装置，其特征在于，所述第一连杆(2)和所述第二连杆(3)的铰接处位于非端部位置，且所述铰接处距离所述第一连杆(2)安装有所述软垫结构的一端的距离等于所述铰接处距离所述第二连杆(3)安装有所述软垫结构的一端的距离。


4.根据权利要求2所述的掠入式光学元件面形校正装置，其特征在于，所述软垫结构为O形圈(4...

【专利技术属性】
技术研发人员：安其昌，张景旭，李洪文，刘炎森，唐境，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：吉林;22