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本发明公开了一种光学相干层成像系统及其参考波前校正装置、方法,参考波前校正装置包括:形变基准板、用于对形变基准板进行加热的加热部件以及多个连接件;加热部件未加热状态下,连接件对球面反射镜具有预紧力,以使球面反射镜具有反向的镜面曲率;加热部件...该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。
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本发明公开了一种光学相干层成像系统及其参考波前校正装置、方法,参考波前校正装置包括:形变基准板、用于对形变基准板进行加热的加热部件以及多个连接件;加热部件未加热状态下,连接件对球面反射镜具有预紧力,以使球面反射镜具有反向的镜面曲率;加热部件...