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骨声纹传感器及电子装置制造方法及图纸
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文档序号:26465586
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本实用新型提供一种骨声纹传感器及电子装置,其中的骨声纹传感器包括基板、与基板形成封装结构的外壳,以及收容在封装结构内的MEMS芯片;MEMS芯片包括衬底以及间隔设置在衬底上的极板和振膜;在振膜远离极板的一侧设置有质量块;在振膜一侧或两侧的封...
该专利属于潍坊歌尔微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过潍坊歌尔微电子有限公司授权不得商用。
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