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本实用新型公开了一种利用射频电感优化单晶薄膜体声波谐振器滤波器。所述滤波器包括外延衬底、底电极、压电薄膜、顶电极、保护层、电学连接通孔、电极连接微带线及射频电感平面金属线段。所述滤波器包括具有三明治结构的谐振器单元、射频电感部件。所述谐振器...
该专利属于华南理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过华南理工大学授权不得商用。

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