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带电粒子束装置中，在使用具有圆环形状的带电粒子束光圈的情况下，带电粒子束中的电流密度最高的光轴上的带电粒子束被遮挡，因此难以将带电粒子束光圈配置到最优的搭载位置。因此，与圆环形状的带电粒子束光圈(120)分别地具备圆孔形状的带电粒子束光圈(...该专利属于株式会社日立高新技术;一般财团法人日本精细陶瓷中心所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社日立高新技术;一般财团法人日本精细陶瓷中心授权不得商用。