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本发明提供了一种声表面波滤波器及其形成方法。在制备声表面波滤波器时，先将封装盖板键合在压电材料层上，从而可以在封装盖板能够对压电材料层进行稳固支撑的情况下，对压电材料层执行减薄工艺，进而可以在减薄后的压电材料层上直接沉积布拉格反射层中的低声...
该专利属于中芯集成电路制造(绍兴)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯集成电路制造(绍兴)有限公司授权不得商用。

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