下载一种场效应管制备方法及场效应管的技术资料

文档序号:26423231

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本发明涉及场效应管领域,提供一种场效应管的制备方法及场效应管,用于提高场效应管的耐压性能。本发明提供的一种场效应管,包括:SOI衬底;第一外延层,所述第一衬底层同所述SOI衬底连接,所述第一衬底层为n型外延层,所述第一外延层上设置有多个p垂...
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