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本公开提供一种基板处理装置和基板处理方法，以抑制数据量并获得高吞吐量的方式设定在基板处理装置中能够搬送基板的搬送时间表。该基板处理装置构成为具备：多个单位块；主搬送机构，其设置于单位块的各搬送线路，相互独立地在多个模块间搬送基板；搬入搬出用...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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