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本申请具体涉及一种动态气体隔离装置，该动态气体隔离装置包括主管道、供气装置和气体预处理装置，其中，主管道包括宽口端和窄口端，宽口端用于与第一腔室连通，窄口端用于与第二腔室连通，第一腔室的清洁度高于第二腔室的清洁度，主管道的侧壁上设置有进气口...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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