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本实用新型实施例公开了一种薄膜体声波谐振器及滤波器，该薄膜体声波谐振器包括：支撑结构，所述支撑结构内部设置空气隙；形成在所述支撑结构上的自下而上排列的下电极、压电层和上电极。本实用新型实施例提供的技术方案，增加了薄膜体声波谐振器的机械牢固度...
该专利属于迈感微电子(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过迈感微电子(上海)有限公司授权不得商用。

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