下载半导体结构及其形成方法的技术资料

文档序号:26382401

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一种半导体结构及其形成方法,其中所述半导体结构,包括:半导体衬底,所述半导体衬底中具有源区和漏区,所述源区和漏区中具有凹槽;金属硅化物层,位于所述凹槽的四周侧壁表面;绝缘层,位于凹槽的底部表面,且所述绝缘层的边缘与凹槽四周侧壁上的所述金属硅...
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