下载三维存储器及其制造方法的技术资料

文档序号:26382276

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种三维存储器及其制造方法,该三维存储器包括:衬底;形成于所述衬底上的核心存储区和台阶区,所述核心存储区包括形成于所述衬底上的堆叠结构,所述台阶区包括由所述堆叠结构形成的台阶结构;贯穿所述核心存储区和台阶区的栅线;以及位于相邻两个...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。