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三维存储器及其制造方法技术
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文档序号:26382276
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本发明涉及一种三维存储器及其制造方法,该三维存储器包括:衬底;形成于所述衬底上的核心存储区和台阶区,所述核心存储区包括形成于所述衬底上的堆叠结构,所述台阶区包括由所述堆叠结构形成的台阶结构;贯穿所述核心存储区和台阶区的栅线;以及位于相邻两个...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
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