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一种应用于等离子体系统的电荷传输装置，所述等离子体系统包括腔室以及置于所述腔室的下部电极，所述等离子体系统用于对置于所述下部电极上的工作件进行加工，所述下部电极包括电极及加热器，其中所述电极用于在对所述工作件进行加工时产生吸附力固定所述工作...
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