【技术实现步骤摘要】
电荷传输装置及相关等离子体系统
本专利技术是有关一种装置，详细来说，是一种电荷传输装置及相关等离子体系统。
技术介绍
在晶圆的加工过程中，静电卡盘广泛被应用以实现对晶圆的支撑、固定以及冷却。在对晶圆进行加工时，静电卡盘会通以直流电压来对晶圆产生静电吸附力以达到固定的效果，然而，当工艺结束后，静电卡盘上所残留的电荷同样会对晶圆产生静电吸附力造成黏片现象，使得在取走加工完成的晶圆时，会因为静电吸附力而导致晶圆偏移倾斜，甚至取片失败。
技术实现思路
本专利技术公开一种电荷传输装置以及相关等离子体系统来解决
技术介绍
中的问题，如晶圆在静电卡盘上的不适当黏片现象。依据本专利技术的一实施例，揭露一种应用于等离子体系统的电荷传输装置，所述等离子体系统包括腔室以及置于所述腔室的下部电极，所述等离子体系统用于对置于所述下部电极上的工作件进行加工，所述下部电极包括电极及加热器，其中所述电极用于在对所述工作件进行加工时产生吸附力固定所述工作件，所述加热器用于在对所述工作件进行加工时，透过交流电源以及耦接于所述交流电源与所...
【技术保护点】
1.一种应用于等离子体系统的电荷传输装置，所述等离子体系统包括腔室以及置于所述腔室的下部电极，所述等离子体系统用于对置于所述下部电极上的工作件进行加工，所述下部电极包括电极及加热器，其中所述电极用于在对所述工作件进行加工时产生吸附力固定所述工作件，所述加热器用于在对所述工作件进行加工时，透过交流电源以及耦接于所述交流电源与所述加热器之间的滤波装置所提供的交流电压来对所述加工件提供热源，其特征在于，/n所述电荷传输装置用于选择性地转移所述加热器上之电荷，所述电荷传输装置包括第一端点与第二端点，所述第一端点耦接于所述交流电源与所述加热器之间，所述第二端点耦接至参考电压端。/n
【技术特征摘要】
1.一种应用于等离子体系统的电荷传输装置，所述等离子体系统包括腔室以及置于所述腔室的下部电极，所述等离子体系统用于对置于所述下部电极上的工作件进行加工，所述下部电极包括电极及加热器，其中所述电极用于在对所述工作件进行加工时产生吸附力固定所述工作件，所述加热器用于在对所述工作件进行加工时，透过交流电源以及耦接于所述交流电源与所述加热器之间的滤波装置所提供的交流电压来对所述加工件提供热源，其特征在于，
所述电荷传输装置用于选择性地转移所述加热器上之电荷，所述电荷传输装置包括第一端点与第二端点，所述第一端点耦接于所述交流电源与所述加热器之间，所述第二端点耦接至参考电压端。
2.如权利要求1的电荷传输装置，其特征在于，还包括:
电阻，耦接于所述第一端点与所述第二端点之间。
3.如权利要求2的电荷传输装置，其特征在于，还包括:
开关，耦接于所述第一端点及所述电阻之间，当所述开关启动时，所述电荷传输装置将所述加热器上之电荷转移至所述参考电压端。
4.如权利要求1的电荷传输装置，其特征在于，所述第一端点耦接于所述加热器与所述滤波装置之间。
5.如权利要求1的电荷传输装置，其特征在于，所述第一端点耦接于所述交流电源与所述滤波装置之间。
6.一种包括腔...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘建，韦刚，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11
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