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本发明提供一种晶片调度方法及装置、半导体处理设备、计算机可读存储介质，该晶片调度方法包括以下步骤：S1：判断真空锁腔的片盒中的未加工晶片是否为一片；若是，执行步骤S2；若否，则执行步骤S5；S2：卸载所有的已加工晶片，同时对所述未加工晶片进...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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