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本实用新型涉及一种用于原子层沉积设备进气管路，包括源瓶A、ALD手动阀A、ALD气动阀A、氮气吹扫阀、单向阀A、单向阀B、主管路、反应室、ALD气动阀B、ALD手动阀B、源瓶B；所述源瓶A与ALD手动阀、ALD气动阀连接在管路A上，并且该管...
该专利属于磐石创新(江苏)电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过磐石创新(江苏)电子装备有限公司授权不得商用。

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