下载差动式螺线管磁场检测装置及其制造方法的技术资料

文档序号:2637510

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一种差动式螺线管磁场检测装置,是一种以微观尺寸制造的磁场检测器,其构成包括:层叠在半导体基片上的两个软磁性薄膜式磁芯,由按数字“8”的形状卷绕的金属薄膜图形构成的、用于对软磁性薄膜式磁芯交替激磁的激磁线圈,以及由螺旋形卷绕的金属薄膜图形形成...
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