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光刻胶组合物、用它形成光刻图案的方法及其用途技术
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文档序号:26374383
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本发明涉及一种光刻胶组合物,包括:金属氧化物纳米簇,所述金属氧化物纳米簇包括金属氧化物内核和与所述金属氧化物内核配位的有机配体,其分子通式为M...
该专利属于清华大学;北京华睿新能动力科技发展有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学;北京华睿新能动力科技发展有限公司授权不得商用。
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