下载光刻胶组合物、用它形成光刻图案的方法及其用途的技术资料

文档序号:26374383

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本发明涉及一种光刻胶组合物,包括:金属氧化物纳米簇,所述金属氧化物纳米簇包括金属氧化物内核和与所述金属氧化物内核配位的有机配体,其分子通式为M...
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