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制造具有测试微球体集成电路用的多个接触尖端的卡的方法及利用该卡的测试装置制造方法及图纸
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下载制造具有测试微球体集成电路用的多个接触尖端的卡的方法及利用该卡的测试装置的技术资料
文档序号:2636664
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一种制造具有尖端的卡的方法,卡用于测试带有微球体连接焊点的半导体芯片。第一粘性薄涂层真空沉积到柔性聚酰亚胺薄膜上,随之为第二金属涂层。金属材料UV光刻和电铸的结合能够实现尖端(26)的植入。带状导体的图案通过第二UV光刻操作形成,从而第二金...
该专利属于梅塞特罗尼克公司所有,仅供学习研究参考,未经过梅塞特罗尼克公司授权不得商用。
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