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高雾度玻璃衬底、制备方法及薄膜太阳电池技术
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文档序号:26362457
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本发明公开了一种高雾度玻璃衬底、制备方法及薄膜太阳电池。制备方法包括:步骤A,清洗玻璃衬底;步骤B,对步骤A得到的玻璃衬底的表面进行反应离子刻蚀处理;步骤C,使用盐酸溶液对所述步骤B得到的玻璃衬底进行腐蚀处理;步骤D,使用氢氟酸溶液对所述步...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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