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生产探针的方法,生产探针的掩模,以及探针技术
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文档序号:2636166
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提供一种用于生产能够保持在探针和导电垫之间的可靠的导电性的探针的方法。所说的方法包括如下步骤:向准备构成探针(100)的板形导电材料(400)的前面和后面涂敷光致抗蚀剂(500);用第一掩模(200)遮挡板形导电材料(400)的一面,并且用...
该专利属于日本电子材料株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本电子材料株式会社授权不得商用。
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