下载带密封表面的静电卡盘的技术资料

文档序号:26348807

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提供了用于基座的设备和系统。示例性的基座可以具有主体,所述主体具有上环形密封表面,所述密封表面是平坦的、垂直于所述主体的竖直中心轴并且具有径向厚度;下凹部表面,其从所述上环形密封表面偏移;以及从所述下凹部表面突出的多个微接触区域(MCA),...
该专利属于朗姆研究公司所有,仅供学习研究参考,未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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