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本发明的扫描电子显微镜系统具备：初级电子线照射单元，其向具有在第一图案的周边区域形成的第二图案的基板的第一图案照射初级电子线；检测单元，其检测从被初级电子线照射单元照射了初级电子线的基板释放的后方散射电子；图像生成单元，其生成与通过检测单元...
该专利属于株式会社日立高新技术所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社日立高新技术授权不得商用。

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