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本发明提供了一种用于测量衬底的表面的位置的水平传感器，包括：投影单元，被布置成将辐射束引导至所述衬底的所述表面；和检测单元。所述检测单元包括：检测光栅，被布置成接收在所述衬底的所述表面上反射的辐射束；一个或更多个检测器；一个或更多个光学元件...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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