下载集成电路装置及其制造方法的技术资料

文档序号:26346324

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本发明实施例涉及一种集成电路装置及其制造方法。该集成电路装置包括:载板以及至少一个集成电路结构体。每一集成电路结构体藉由一个或多个导电突出部固定于载板上,且包括:集成电路元件、上盖、一个或多个第一空腔以及一个或多个第二空腔。集成电路元件具有...
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