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叉指电极结构及其制造方法和具有该结构的声表面波器件技术
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下载叉指电极结构及其制造方法和具有该结构的声表面波器件的技术资料
文档序号:26346319
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公开了一种叉指电极结构,叉指电极结构被设置在衬底上,其中叉指电极结构中的叉指电极的末端被离子注入以形成掺杂部。还公开了一种声表面波器件,其包括以上叉指电极结构,声表面波器件为滤波器或谐振器。另外,还公开了一种用于制造叉指电极结构的方法,包括...
该专利属于杭州见闻录科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州见闻录科技有限公司授权不得商用。
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