温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种体声波谐振器及其制造方法。该谐振器包括：基底；声学镜；底电极；顶电极；和压电层，设置在底电极与顶电极之间，其中：所述所述压电层上下两侧分别设置有第一质量负载阵列和第二质量负载阵列。本发明还涉及一种滤波器以及一种电子设备。...
该专利属于诺思(天津)微系统有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过诺思(天津)微系统有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。