下载半导体圆片测试用高性能探针系统的技术资料

文档序号:2634610

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一种用于在一集成电路(IC)测试器(52)与待测试IC(56)表面上的输入/输出、电源及接地焊盘(54)之间提供信号路径的探针系统,其包括一探针板总成(50)、一挠性电缆(86)及一组设置用于接触IC上的I/O焊盘(54)的探针(80)。探...
该专利属于佛姆费克托公司所有,仅供学习研究参考,未经过佛姆费克托公司授权不得商用。

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