下载半导体器件的制备方法的技术资料

文档序号:26345371

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种半导体器件的制备方法,包括提供半导体衬底,所述半导体衬底包括NMOS区域,所述NMOS区域内定义有有源区,且所述半导体衬底上形成有栅极材料层,通过在NMOS区域中的有源区之外的区域对所述栅极材料层进行N型离子注入,然后对所述半...
该专利属于南京晶驱集成电路有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南京晶驱集成电路有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。