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半导体器件的制备方法技术
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文档序号:26345371
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本发明提供一种半导体器件的制备方法,包括提供半导体衬底,所述半导体衬底包括NMOS区域,所述NMOS区域内定义有有源区,且所述半导体衬底上形成有栅极材料层,通过在NMOS区域中的有源区之外的区域对所述栅极材料层进行N型离子注入,然后对所述半...
该专利属于南京晶驱集成电路有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南京晶驱集成电路有限公司授权不得商用。
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