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集成电路器件制造技术
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文档序号:26345358
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一种集成电路(IC)器件包括:在第一方向上纵向延伸的鳍型有源区;在鳍型有源区的鳍顶表面上在第二方向上彼此交叠的多个纳米片;以及在鳍型有源区上并在第一方向上面向所述多个纳米片的源极/漏极区域。所述多个纳米片包括所述多个纳米片当中最靠近鳍型有源...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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