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半导体装置及其制造方法。一种半导体装置包括：层叠结构，该层叠结构包括彼此交替层叠的导电层和绝缘层；以及沟道层，该沟道层穿过层叠结构，其中，沟道层是单层，该单层包括第一GIDL区域、单元区域和第二GIDL区域，并且第一GIDL区域比单元区域和...
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