温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种沿一中心纵轴设置的伸长的、柱状的微机械结构，所述结构包含：　　　　复数个叠层结构层，所述层中的每一个由一结构材料构成；　　　　一在所述结构的一近端的大体刚性的基座部分；　　　　一从所述基座部分沿所述中心轴延伸的弹性中间部分，所述弹性部分...
该专利属于佛姆费克托公司所有，仅供学习研究参考，未经过佛姆费克托公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。