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本发明涉及半导体测试领域，特别是一种光瞬态自动测试系统。包括：光注入装置；光注入装置；样品室装置；信息采集装置。本发明可用于半导体材料中光激发瞬态信号的自动测试。为此，本系统是检测半导体材料中杂质和缺陷及微结构的最有力手段。...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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