一种光瞬态自动测试系统技术方案

本发明专利技术涉及半导体测试领域，特别是一种光瞬态自动测试系统。包括：光注入装置；光注入装置；样品室装置；信息采集装置。本发明专利技术可用于半导体材料中光激发瞬态信号的自动测试。为此，本系统是检测半导体材料中杂质和缺陷及微结构的最有力手段。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体测试领域领域，特别是一种光瞬态自动测试系统。
技术介绍
新的光瞬态测试装置涉及一种可改变激发光波长，精确调整激发光光点位置。并自动采集处理数据的用于光激发瞬态信号测量的快捷准确的测试设备。尤其对半导体材料的深能级测试可得到许多有用的参数，是检测半导体材料杂质和缺陷及结构的有效手段。原设备中的激发光源只是由几个不同波长的发光管提供。波长是固定不可改变的。且发光管与样品间的距离也是固定的。这就决定了样品上光点的大小是不可调整的。而测试时照射到样品上的光的波长，光的强度，以及光点位置对瞬态信号的影响是巨大的。原设备中样品上产生的光瞬态信号是先由X-Y记录仪纪录下来再依所记波形的峰值位置，利用一系列公式算出所须的参数。计算繁琐，误差较大。新的测试装置克服上述缺点，设计了新的光源系统，光源调制系统及计算机数据采集处理系统。使测试过程便捷，测试参数准确可靠。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供一种光瞬态自动测试系统，其可克服原设备中测试所需的激发光的波长不可连续改变的缺点，提供了一个可连续改变波长且功率够满足测试材料要求的光激发源系统。本专利技术另一目的在于，提供一自动本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光瞬态自动测试系统，其特征在于，其中包括：光注入装置；提供激发光源，并使光的波长可做连续改变；样品室装置；被测样品放置在样品室中央的样品台上，由光注入系统提供的激发光束通过光缆及光点微调装置照射到样品上，样品台上设有端口连接到触发信号系统，样品上产生的瞬态信号经放大后传输到信息采集系统，样品室下端连接到真空系统；信息采集装置；通过样品台上的输出端口将样品上经放大的电瞬态信号收集到计算机系统中，并在显示屏幕上描画出被测样品相应的瞬态谱放大，并将测试数据自动保存处理后给出所须的参数。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋波，卢励吾，张砚华，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]