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本发明涉及一种边缘抛光装置，包括本体、驱动组件和抛光头，本体包括环形支架，环形支架上延其周向固定有多个抛光头，驱动组件用于控制本体旋转以带动抛光头旋转对晶圆边缘进行抛光，抛光头包括抛光盘，抛光盘通过一连接结构连接于环形支架上，连接结构包括沿...
该专利属于西安奕斯伟硅片技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安奕斯伟硅片技术有限公司授权不得商用。

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