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描述一种基板支撑件(100)，用于支撑具有待处理的前表面(102)和相对的后表面(115)的基板(101)。所述基板支撑件包括支撑主体和附接至支撑主体的干粘着组件(240)，所述干粘着组件具有一或多个干粘着元件(121)，其中所述一或多个干...
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