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本实用新型提供了一种排气取样装置及湿法清洗机，其中所述排气取样装置，包括取样管，所述取样管具有相对的取样端和排气端，所述取样端位于湿法清洗机的排气管内并对所述排气管内的排气进行取样，所述取样端包括呈一定夹角的第一管路和第二管路，所述第二管路...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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