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本实用新型涉及一种防护装置、驱动设备、扫描设备以及半导体机台；半导体机台包括承载器和扫描设备，扫描设备设置在承载器的一侧；扫描设备包括驱动设备、连接板和传感器，传感器设置在连接板上；驱动设备包括气缸和防护装置；防护装置的盖子与气缸的缸筒可拆...
该专利属于中芯集成电路制造(绍兴)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯集成电路制造(绍兴)有限公司授权不得商用。

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